三維形貌儀是一種用于測量三維表面形貌、輪廓和曲面特征的儀器。它可以通過激光或白光掃描技術(shù)獲取被測物體表面的三維形貌信息,并生成三維模型或曲面圖。三維形貌儀在工業(yè)制造、質(zhì)量控制、產(chǎn)品設計、醫(yī)療等領域廣泛應用,能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù),幫助用戶進行產(chǎn)品設計、檢測和分析。常見的三維形貌儀包括激光三維掃描儀、白光干涉儀等。
三維形貌儀通過集成一對單點,非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運動,QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準表面3D點云地形,用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運動架構(gòu)允許測量旋轉(zhuǎn)對稱和更復雜的非軸對稱或自由形狀,最大測量直徑為50mm(高達75mm外徑)。根據(jù)鏡頭直徑和3D點云采樣密度的不同,每個鏡頭每個表面的總測量時間從30秒到240秒不等。
測量的幾何參數(shù)包括:
· 相對于定義的集中度基準的前后曲面頂點偏移量
· 相對于定義的傾斜基準的前后表面楔角
· 前后總厚度變化(TTV)和中心厚度(CT)
· 前后表面凹陷/形狀誤差
三維形貌儀系統(tǒng)特性:
· 緊湊,臺式機組與環(huán)境外殼
· 雙單點、非接觸、可見光、彩色共聚焦傳感器,8kHz組合測量速率
· 震動不敏感和尺寸穩(wěn)定的Invar計量框架
· 納米編碼X/Y/Z協(xié)調(diào)運動與磁性直線電機和交叉滾子軸承快速光柵或螺旋掃描超過50mm (X), 50mm (Y), 50mm (Z)
· 自定義心夾具,精密快速連接,快速裝卸
· 用于單光學元件(最大外徑75mm)和微透鏡托盤的固定裝置
· 用戶友好的QuickPRO™儀器控制和數(shù)據(jù)采集軟件,用于傳感器優(yōu)化,自動定心,數(shù)據(jù)捕獲和協(xié)調(diào)運動測序
· CalcuSurf-3D™查看和分析軟件,用于多表面3D點云數(shù)據(jù)