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KOSAKA - ET200A臺階儀
PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機
FSM 128薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)
EVG805解鍵合晶圓鍵合機
PhaseCam 4030動態(tài)激光干涉儀
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能動態(tài)干涉儀
FSM413紅外激光測厚儀
Delcom 非接觸式電阻測試
Microsense 5810/6810電容式位移傳感器
Nano X-2000S白光干涉儀
RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機
PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機
FR-Mic全自動帶顯微鏡多點測量
FSM 500TC高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
FS-1FilmSense多波段橢偏儀
DVIA-TDaeil 臺式主動防振臺
FR-Mic全自動帶顯微鏡多點測量膜厚儀
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